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3 试验结果与讨论采用传统的磨削方法加工陶瓷及其它硬度高、脆性大的脆性材料时,磨削后的工件表面会产生裂纹。本试验采用超精密磨头在不同的加工条件下磨削陶瓷材料,加工完毕后,采用Nanoscope ⅢA扫描探针显微镜进行观测。

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 · ?12 ? 《金刚石与磨料磨具工程》 工程陶瓷超精密磨削表面质量的研究 300072 天津大学高温陶瓷材料及工程陶瓷加工技术教育部实验室 于思远 林 彬 林 滨 林梦霞 摘 要 本文从几何和物理特性两方面研究了 ZrO2 和 Sialon 陶瓷超精磨制削的表面质量 。实验结果表明, 金刚石砂轮磨粒尺寸和磨削深度 …

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